IC裝備是《國(guó)家中長(zhǎng)期科技發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》確定的16個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)之一。實(shí)施國(guó)家重大專項(xiàng)，是將沈陽(yáng)市IC裝備產(chǎn)業(yè)納入國(guó)家戰(zhàn)略，在更高層面上參與國(guó)內(nèi)外競(jìng)爭(zhēng)，搶占技術(shù)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展制高點(diǎn)的戰(zhàn)略需要。自IC國(guó)家科技重大專項(xiàng)設(shè)立以來(lái)，經(jīng)沈陽(yáng)市組織推動(dòng)，共有6家企業(yè)承擔(dān)了14項(xiàng)02科技重大專項(xiàng)課題，累計(jì)獲得國(guó)家資金支持6.95億元。其中，8項(xiàng)到期課題全部順利完成專項(xiàng)辦組織的驗(yàn)收。

拓荊公司申報(bào)的2016年項(xiàng)目“1x nm 3D NAND PECVD研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”即將獲得立項(xiàng)。重大專項(xiàng)的順利實(shí)施，提升了沈陽(yáng)市IC裝備產(chǎn)業(yè)在國(guó)家戰(zhàn)略版圖中的地位。國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金完成對(duì)拓荊科技的增資擴(kuò)股，2.7億元投資全部到位。

市科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，沈陽(yáng)市以重大專項(xiàng)實(shí)施為引領(lǐng)，充分發(fā)揮IC產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的行業(yè)紐帶作用，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵技術(shù)突破和重點(diǎn)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化。截至目前，沈陽(yáng)市IC裝備產(chǎn)業(yè)形成了“一項(xiàng)控制系統(tǒng)技術(shù)(集成電路生產(chǎn)線智能調(diào)度與質(zhì)量?jī)?yōu)化控制技術(shù))、四類重要整機(jī)裝備(PECVD薄膜設(shè)備、勻膠顯影設(shè)備、劃片機(jī)、刻蝕機(jī))、一批關(guān)鍵單元部件(潔凈機(jī)械手、羅茨干泵、真空氣動(dòng)閘板閥、SMIF系統(tǒng)及晶片傳輸設(shè)備等21種單元部件和子系統(tǒng))和一個(gè)精密零部件支撐平臺(tái)(IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺(tái))”的配套體系和批量生產(chǎn)能力。在關(guān)鍵整機(jī)方面，擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的首臺(tái)國(guó)產(chǎn)12英寸PECVD設(shè)備完成了在中芯國(guó)際的在線測(cè)試，各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到相關(guān)要求，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)在IC裝備國(guó)產(chǎn)化方面的重大突破;自主研發(fā)、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的12英寸TRACK在國(guó)內(nèi)著名芯片封裝企業(yè)——江陰長(zhǎng)電正式投入使用;自主研發(fā)的IC裝備控制系統(tǒng)開(kāi)發(fā)平臺(tái)已在國(guó)產(chǎn)PECVD、TRACK整機(jī)裝備上得到驗(yàn)證;在關(guān)鍵零部件方面，“干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目完成了全部8種產(chǎn)品的生產(chǎn)，110臺(tái)套得以應(yīng)用，申請(qǐng)專利58項(xiàng)，授權(quán)33項(xiàng)，頒布實(shí)施行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng);12寸凸點(diǎn)封裝涂膠、噴膠、顯影設(shè)備成為江陰長(zhǎng)電生產(chǎn)線上的主力機(jī)臺(tái);完成潔凈、真空和光刻機(jī)傳輸機(jī)械手樣機(jī)研制工作，銷售產(chǎn)品65臺(tái)(套);“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺(tái)”通過(guò)了全球最大的集成電路設(shè)備商美國(guó)應(yīng)用材料公司的評(píng)審，成為正式供應(yīng)商。