在推動IC裝備產業(yè)發(fā)展的過程中，沈陽市注重點面結合、均衡布局，孕育了一批重點整機和零部件企業(yè)。

拓荊科技成立于2010年4月28日,是一家由“國家千人計劃”專家姜謙博士帶領的，以海外團隊為主體，在承擔國家02重大專項背景下成立的高新技術企業(yè)。六年來，先后開發(fā)出212英寸PECVD系列產品。2011年10月，首臺國產12英寸PECVD樣機出廠在中芯國際集成電路制造有限公司在線測試；2013年實現國產首臺設備在中芯國際生產線上的成功應用與銷售，打破了該產品被國外壟斷的局面；2014年12寸PECVD成功拓展到3DTSV領域，成功占領了國內新興市場。2015年6月，12英寸國產PECVD設備在中芯國際集成電路制造有限公司累計生產突破10萬片，月產能突破1萬片，生產效能比國外同類設備提高10%。薄膜制備的可靠性、可重復性及工藝技術達到國際先進水平。2015年8月中芯國際采購了第二臺設備用于28納米工藝制程技術的研發(fā)。沈陽拓荊公司已經累計銷售12臺12寸PECVD設備，遠超國家科技部下達的5臺套的銷售指標，在眾多國家IC重大專項承擔單位中，是屈指可數的能夠超額完成市場銷售考核指標的公司，受到專項管理辦公室的好評。

芯源微電子是國內知名的專業(yè)半導體裝備企業(yè)，公司的主導產品勻膠顯影設備是集成電路制造中的關鍵工藝設備。歷經十多年的開拓與創(chuàng)新，企業(yè)在消化引進國外先進技術基礎上，開發(fā)出四大TRACK系列產品，取得180多項技術專利。通過承擔國家02科技重大專項任務，自主研制完成的12英寸噴/涂膠機、顯影機、刻蝕機，填補了國內此項高端產品的空白，縮短了與國際先進技術的差距，與進口同類產品相比具有性價比優(yōu)勢，產品價格僅是進口設備的50%，可完全替代進口設備。目前，公司的產品已經通過臺積電的在線測試，即將成為正式供貨方。

富創(chuàng)精密專業(yè)從事半導體設備、光伏設備精密零件加工制造的科技企業(yè)。致力于半導體、光伏精密零部件及備件的研發(fā)、制造、銷售和服務，是國內精密零部件制造的領先企業(yè)。公司承擔了02科技重大專項中唯一的平臺類項目，是為國家IC裝備產業(yè)提供零部件支撐服務的公共技術服務平臺。先后為上海微電子（光刻機）、北京七星華創(chuàng)（擴散爐）、沈陽芯源（勻膠顯影設備）、沈陽科儀（羅茨泵）以及美國Transmill公司（光伏設備研發(fā)）等IC裝備企業(yè)的提供了精密零部件配套服務，并成為行業(yè)領導者美國應用材料公司的正式零部件供應商。